光伏单晶炉氩气净化回收技术 填补我国太阳能光伏晶硅制造领域空白

大连日

近日，大连化物所李灿院士领导的团队与大连连城数控机器股份有限公司合作研发出光伏单晶炉氩气净化回收技术，为光伏晶硅大规模生产提供了技术保障，填补了我国在太阳能光伏晶硅制造领域技术空白。

氩气在空气中含量极低(仅0.93%)，通常作为副产物从空分制氧过程中分离提取，高纯氩气生产成本较高。高纯氩气(纯度gt;99.999%)是单晶硅和多晶硅制备过程中必不可少的净化和保护气。国外氩气净化回收技术昂贵，且产能规模有限。因此，研发具有自主知识产权的低成本、高产能氩气净化回收技术成为亟待解决的任务。

该团队日前研发出高活性、高稳定性相关催化技术，根据规模化光伏单晶炉氩气净化回收工业需求，研发出成套工艺技术及装备，中试样机近日在包头美科硅能源有限公司一次开车成功。在较温和条件下，有效消除单晶炉氩气尾气中多种杂质，净化后氩气中各种杂质浓度低于0.5ppm，远优于光伏晶硅生产过程的PV6-1110氩气行业标准(杂质浓度lt;10ppm)。此技术在实际工况条件下能够同时满足至少4至6台单晶炉氩气尾气净化要求，大幅减少晶硅制造过程中高纯氩气的消耗量，帮助光伏企业克服氩气供给波动的影响。中试装置开车成功，为后续量产奠定技术基础。