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五六十种最重要的电子特气中,我们实现国产化的比例不足1/3。由于电子特气具有易燃、易爆、有毒、有害等特性,电子特气公司在自身技术水平储备不足的情况下,还要受到政策法规等限制要求,往往难以实现特气的量产化。
电子特气的全球市场规模则接近50亿美元。在半导体材料中,电子特气是价值量占比仅次于硅片的第二大原材料,在全球半导体材料市场的占比约为14%。
随着中国集成电路产业大发展,我国的特种气体产业也在逐步发展,华特气体、金宏气体、雅克科技等公司在一些特气品种上也取得了一定的进展。
作为工业大宗气体龙头,金宏气体也瞄准了电子气体,公司上市募投项目之一便是张家港金宏气体有限公司超大规模集成电路用高纯气体项目,项目总投资2.1亿元。目前,公司的电子特种气体产品主要包括超纯氨、高纯氢、高纯氧化亚氮、硅烷混合气、八氟环丁烷等。公司在2020年12月公告,公司自主研发的高纯氧化亚氮、超纯氨产品近日成功通过中芯国际的稽核认证,等待测试。
雅克科技子公司成都科美特在六氟化硫与四氟化碳的生产工艺上具有核心技术。六氟化硫在国内外被广泛应用于电力设备中的输配电及控制设备行业,四氟化碳被广泛应用于国内外半导体制造、平板显示、太阳能薄膜等行业。
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