日前，河南省科技厅、财政厅发布《关于2022年度河南省重大科技专项立项的通知》，昊华气体联合申 的“集成电路用电子化学品关键技术研究及产业化”获立项支持。
该项目瞄准集成电路制造用电子材料，开展硅基基础材料、电子气体和光刻胶中间体研发与产业化，助力我国在芯片制造和器件核心材料制造领域实现突破。昊华气体承担该项目子课题“光电子级超纯氨的工艺研究和产业化任务”。
河南省重大科技专项聚焦国家重大战略需求、河南省转型发展需要，重点围绕产业发展和服务民生公益的重大关键核心技术，提质龙头骨干企业技术创新水平，支撑产业升级发展。
声明：本站部分 章内容系出于传递信息之目的源自于第三方 站转载，行业企业、终端用户投稿。若对稿件内容有任何疑问或质疑，请立即与本 站联系，本 站将迅速给予回应并第一时间做出处理（联系邮箱：jinwei@zod.com.cn）。