华特气体：公司2022年将重点突破刻蚀类产品

气体汇 • 2022年3月19日下午2:56 • 企业新闻

集微消息，4月19日上午举行的2021年度业绩说明会上，华特气体董秘万灵芝表示，该公司在研项目中30%以上投入以研发刻蚀气体为主，2022年将重点突破以高纯二氧化硫、四氟化硅等为主的刻蚀类产品。

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