据韩媒《朝鲜日 》4月6日 道，SK海力士利川M16工厂3名工人在检查设备的过程中因毒性物质氟酸泄露受伤。M16工厂是此前竣工的DRAM生产工厂。当天上午11点34分时，在京畿道利川市SK海力士 M16工厂5楼的设备进行检查期间，发生氢氟酸泄漏事故。
氟酸是无色毒性氟化氢溶解在水中的挥发性液体。使用于半导体电路绘制Pattern的蚀刻制程中。
在这起事故中，一名30岁的工人的胳膊和腿被烧伤，另有两名雇员也因吸入氟酸气体转移至附近医院。据 道，3名均无生命危险。SK海力士表示，此次事故是在对新的M16工厂设备进行检查时发生的，对半导体生产没有影响。
据悉，M16工厂将主要生产DRAM产品，总面积5.7万平方米。在2021年1月，SK海力士在韩国京畿道利川总部举行M16新厂竣工仪式，正式宣布新厂落地。
SK海力士首次在M16配备EUV（极紫外）光刻机，并从今年下半年起生产第四代1α纳米级DRAM产品。未来SK海力士将提高EUV设备利用率，进一步增强存储器半导体相关的先进工程技术领导力。
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