一家之言 兼听则明 偏听则暗
近两年来,芯片制造是我国半导体行业发展的焦点。目前,制约我国芯片制造的,主要来自于高性能的光刻机。
目前,中国不缺高性能芯片的设计能力,缺少的是高性能的光刻机。而光刻技术,则是光刻机发展的重要推动力。光刻技术的在过去几十年的发展中,除了光刻机外,还包括光源、光学元件、光刻胶等材料设备,而这些都具备极高的技术壁垒。
光刻核心设备的组件十分复杂,包括光源、镜头、激光器、工作台等,相关技术被全球少数几家公司掌握。配套的光刻胶、光刻气体、光掩膜等半导体材料和涂胶显影设备,同样具备极高的科技含量。
因其高科技含量的属性,以致于没有任何一个国家任何一个公司,可以完整的掌握整个光刻技术,这也给相关诸多厂商带来了发展机会。
比如,美国90%以上的光刻气体——氖气,供应来自乌克兰;35%以上的钯来自于俄罗斯。
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什么是光刻气体?
光刻气体是一种稀有气体与氟之间的混合气,常见的光刻气体有:氩/氟/氖混合气、氪/氖混合气、氩/氖混合气、氩/氙/氖混合气等等。
这些稀有混合气体在受到高压激发后会形成等离子体,在这个过程中,由于电子的跃迁,会产生固定波长的光线。这些光线经过聚合、滤波等过程,就变成了光刻机的光源。
目前,乌克兰供应全球70%的氖气,40%的氪气和30%的氙气。其中,在ArF准分子激光器中使用的氩/氟/氖混合气体中,氖气占96%。而氪气主要应用于光刻制程,氙气主要应用于半导体刻蚀制程。
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5大“光刻气体”龙头
华特气体
华特气体是我国唯一通过ASML公司认证的气体公司,主要供应光刻用的氪氖混合气、氟氖混合气等气体,产品获得了市场知名客户的广泛认可,解决了中芯国际、华润微电子、台积电(中国)、士兰微电子、柔宇科技、京东方等客户多种气体材料的进口制约。
凯美特气
凯美特气是国内最大的食品级二氧化碳生产企业,供应相关稀有气体,包括氖、氪、氙及混合气体等,公司生产的电子特气达到国际水平,同时公司的部分电子特种气体产品可应用于第三代半导体。
和远气体
国内知名节能环保型综合气体供应商,主要产品包括氩气、氢气、氦气、各类混合气、特种气等多种气体,拥有台基半导体、智瑞半导体、比亚迪等等一批优质合作伙伴,有望打破外资气体公司在光纤、半导体、医疗等领域对特种气体的垄断。
金宏气体
金宏气体是国内知名工业气体供应商,主要为客户提供各种大宗气体、特种气体和天然气的一站式供气解决方案。能够为电子半导体、高端装备制造等行业客户提供特种气体。自主研发的超纯氨、高纯氧化亚氮、八氟环丁烷等,为电子半导体高端制造客户提供了新选择。
南大光电
南大光电是国内光刻胶、电子特气龙头企业,公司形成了MO源、电子特气、ALD/CVD前驱体材料和光刻胶四大业务板块,研发的高纯电子气体(砷烷、磷烷),填补了多项国内空白,在LED、IC领域客户中广受好评。
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