EUV迟迟不发货,阿斯麦却看上了中国氖气, 友:拿光刻机来换

“大毛”和“二毛”不和,让荷兰光刻机巨头ASML(阿斯麦)操碎了心。主要原因之一,就是“二毛”提供了全球70%的氖气,而包括氖气在内的电子特气,又是仅次于硅片的第二大耗材。在那些风和日丽的时光里,大毛负责生产,二毛负责提纯,阿斯麦用得很是尽兴。但是自2014年,克里米亚被并入大毛,氖气价格从400元/立方米,突然涨至25000元/立方米之后,阿斯麦就紧张了起来,毕竟氖气在光刻过程中扮演着不可或缺的角色。

氖气的作用

氖气的作用,要从光刻机的名字说起。所谓“光刻”,就是以光为刀,雕刻芯片。光的波长越短,制程工艺也就越为精尖。以DUV(深紫外线)和EUV(极紫外线)为例,它们的波长分别为193nm和13.5nm。为了取得符合条件的光,厂商需要用到大量的稀有气体,其中又以氖气最为突出。需要用到氖气的晶圆,主要分布于8英寸晶圆180nm至12英寸晶圆1Xnm,也就是全球芯片制造厂商产能的75%。

氖气企业的准入门槛太高

中国氖气产能超越二毛

当然,这并不包括我国。说起来也有几分运气的因素,我国本就是钢铁大国,而氖气恰恰又是钢铁行业的副产品,只不过起初并未太大重视。直到半导体被列入国家战略,国内的电子特气行业才春风化雨。据统计,二毛的战前氖气产能为35万立方米/年,而我国的氖气产能,在2021年就已经达到了48.7万立方米/年。其中的60%,甚至被出口至半导体同样甚至更发达的日韩地区。

阿斯麦早就做好了打算

友:要氖气可以,价格也好说

这一切,无疑都很符合阿斯麦的预期。但这个结果,并不是中国 友想看到的,尤其是阿斯麦还欠着我们的光刻机。中芯(SMIC)曾在2018年付下1亿元定金,向阿斯麦采购EUV光刻机,但是直到现在也没有任何消息。2021年开年,阿斯麦又罔顾中芯的生产计划,单方面取消了中芯价值6亿元的DUV光刻机订单。现在有能用上咱们的地方,就勾勾手指头,这算怎么回事?不少 友都表示:要买氖气可以,价格公道,只要拿光刻机来换就行。(李双喜)

 

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