昨天华为新发布的手机不再使用国外的系统，更早之前对于半导体等芯片自主可控，这些都在2级市场发掘了很多机会，但是对于一些知名度较低的行业，大家关注的比较少，重视程度也不够，所以今天我们一起了解下电子特种气体的供应安全问题，以及其中蕴含的机会。

电子特种气体是名副其实的电子工业“血液”，贯穿半导体各步工艺制程，又决定了集成电路的性能、集 成度、成品率，特气若不合格轻则导致产品严重缺陷，重则导致整条生产线被污染乃至全面瘫痪，其纯度要求极高，纯化、杂质检测、储运技术面临全方位考验。

海外龙头垄断市场，国产替代迫在眉睫

目前全球电子特气市场被几个发达国家的龙头企业垄断，国内企业面临着激烈竞争的局面。从全球市场范围来看，提供特种电子气体的公司主要有美国气体化工、美国普莱克斯、日本昭和电工、英国 BOC 公司（2006 年被林德收购）、德国林德公司（2018 年与美国普莱克斯合并）、法国液化空气、日本大阳日酸公司等。全球特 气市场美国空气化工、普莱克斯、法液空、大阳日酸和德国林德占据了全球市场 94%的份额；国内市场海外几大龙头企业也控制了 85%的份额，电子特气受制于人的局面亟待改变。

半导体产业链向中国大陆转移，特种气体市场空间迅速扩大

2013-2018年，我国集成电路产业销售额复合增速高达 21.1%，2018 年同比增速仍高达 20.7%。据我们统计，2019-2020年为我国大陆晶 圆厂的密集投产期，以 12寸等效产能计算，2018 年我国大陆晶圆 厂产能为 119 万片/月，至 2021 年将增长至 359 万片/月，年均增速 高达 44%，依此计算我国 2018 年半导体用电子特气市场空间约27亿元，至2021年将增长至 81 亿元。

观察日本2013-2018 年间不同品种电子特气的需求变化可以发现，在先进制程中用量增大的品种如八氟环丁烷等复合增速较高，这与半导体工艺制程不断升级的趋势相吻合；复合增速较低的品种多集中在离子注入CVD源性气体，这与泛半导体行业逐步从日本向韩国、中国台湾、中国大陆地区转移的趋势相吻合。

放眼我国，由于全球面板及半导体行业均在向我国大陆地区转移，因此我国电子特气各品种需求量均处于 迅速增加的状态。日本需求下滑的离子注入和 CVD 源性气体由于我国自主生产能力仍不强，进口替代需求较为 强烈。而先进制程工艺需求品种如八氟环丁烷、六氟丁二烯等，随着我国工艺制程的逐步追赶，也将迎来高速增长。

重点公司

华特股份：

氟碳类产能规模大，光刻气通过 ASML 认证 公司主营工业气体生产，特别是电子特种气体生产。电子特气方面公司以氟碳类气体见长，高纯六氟乙烷 产能规模较大。据公司招股说明书披露，公司是国内首家打破高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、 高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、Ar/F/Ne 混合气、Kr/Ne 混合气、Ar/Ne 混合气、Kr/F/Ne 混合气 等产品进口制约的气体公司。

昊华科技：

始于“两弹一星”的研发平台，国内高纯六氟化硫龙头 公司此前为天一科技，主营变压吸附气体分离技术及成套装置、催化剂产品、碳一化学及工程设计。2018 年底中国昊华将旗下 11 家化工研究院注入上市公司体内，并更名昊华科技。2018 全年及 2019 上半年，公司分 别实现营收 41.8、22.8 亿元，同比分别增长 15%、18%；分别实现归母净利 5.25、2.57 亿元，同比分别增长 61%、 6%。高纯 SF6 产品取代 NF3 用于 CVD 清洗工艺可有效降低成本，公司产品2006 年就已达到5N级并逐步通过客户认证，当前已经达到 5N5 级，为国内高纯六氟化硫龙头。

巨化股份（中巨芯）：

进军电子特气业务的老牌氟化工龙头，先进制程刻蚀气体具备先发优势 博瑞电子及其子公司博瑞中硝、凯圣氟化学及其子公司凯恒电子原本为巨化股份旗下主要从事半导体材料 业务的经营实体 2018 年 4 月，巨化股份将博瑞电子和凯圣氟化学 100%股权转让至中巨芯旗下，从而使上述两 个子公司出表（中巨芯大基金和巨化股份各持股 39%）。公司在八氟环丁烷、六氟丁二烯、八氟环戊烯等先进工艺刻蚀气体布局方 面具备先发优势。

南大光电：

国内磷烷、砷烷龙头，拟收购飞源气体布局 NF3、SF6 公司主营 MO 源和电子特气业务，2019 半年 特气业务营收占比 33%，毛利占比 44%，毛利率 61%，为公 司毛利率最高的业务板块。2019 半年 公司实现营收 1.39 亿元，同比增长 10%；实现归母净利 0.26 亿元，同 比下滑 9%。

雅克科技：

专注含氟特气，CF4、SF6 产能国内第一 雅克科技传统业务为阻燃剂业务，2016-2017 年，公司先后并购华飞电子、江苏先科和成都科美特进军电子 材料业务，当前电子材料业务主要分为 IC 前驱体、电子特气和封装用球形硅微粉三大部分。2019 中 电子特气 业务占公司营收比重 20%，毛利润比重28%。近年来公司业绩保持高速增长，2019 中 实现营收8.61 亿元，同 比增长33%；实现归母净利1.00亿元，同比增长81%。

中信建投推荐标的

重点推荐始于两弹一星，“六五”计划即已攻关高端特气的技术龙头昊华科技、进军电子特气业务的老牌氟化工龙头巨化股份（中巨芯）、 国内四氟化碳、六氟化硫龙头雅克科技，

建议关注新三板硅烷龙头硅烷科技、超纯氨龙头金宏气体；

另建议关注优秀非上市标的如派瑞特气（718所）、博纯材料、绿菱气体、太和气体、北方特气、威 顿晶磷、湖州迅鼎、艾佩科等的证券化进程。

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