同花顺（300033）金融研究中心5月22日讯，有投资者向南大光电（300346）提问， 你好董秘，南大光电在收购山东飞源气体时的可行性 告显示，飞源气体是台积电和中芯国际的供应商。请问飞源气体主要向台积电和中芯国际供应什么产品，以及这些产品主要是用于什么方面呢？还有电子特气和光刻胶在集成电路制造过程中有没有关联性？飞源气体进入台积电和中芯国际的供应链体系，是否有利于公司的Arf193光刻胶通过这两家公司的认证呢？谢谢！
公司回答表示，感谢您的关注！山东飞源气体有限公司向台积电和中芯国际供货的主要产品是三氟化氮。三氟化氮作为一种特种电子气体，具有优异的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，是电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，主要应用领域包括IC（集成电路）行业和LCD（面板显示）行业。高纯电子特气是集成电路制备中的主要支撑材料，ArF（193nm）光刻胶是大规模集成电路芯片制造必须使用的关键基础材料。ArF（193nm）光刻胶的客户群体与公司原有的IC行业的客户具有同源性。
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