气体圈子讯，4月1日上午8点左右，韩国某电子特种气体公司发生爆炸事故。8瓶乙硼烷（B2H6）中的4瓶发生了爆炸，厂房外墙和屋顶被炸飞。幸运的是，特气工厂装有防爆装置，所以爆炸没有蔓延到大火，也没有造成人员伤亡。爆炸原因正在进一步调查中。据悉，发生爆炸的公司生产的乙硼烷有供应给SK海力士。
根据气体圈子发布的《乙硼烷市场研究 告 2022》，乙硼烷是制造各类半导体器件（从逻辑和存储到分立器件）的关键气体材料。在逻辑IC、DRAM、Flash Memory和分立器件中通过向硅基薄膜中添加乙硼烷气体中的硼，改变目标薄膜的电特性及性质，改善半导体功能。在Flash Memory和DRAM等中，乙硼烷用于金属布线沉积过程中，在沉积区域执行必要的预处理，以实现均匀、稳定和高速的薄膜生长。随着半导体工厂新增产能和新工艺的技术迭代，乙硼烷（B2H6）需求增长显著，预计需求增长将超过供应。
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