肥乡“特种气体”材料项目一期投产 4种产品产能将居世界第一

日前,中船重工第七一八研究所(以下简称七一八所)肥乡特气新材料产业基地一期项目投产,二期项目也同时举行开工仪式。该项目的投产,对提升我国集成电路产业的核心科技水平和竞争能力具有重要意义。

高纯特种气体是半导体发光元器件产业、半导体高端存储处理芯片等高端新兴行业所急需的原材料,属于国家加快扶持发展的战略性新兴产业。

2017年4月,七一八所肥乡特气新材料产业基地开工建设,预计2020年全部达产达效后,年产高纯特种气体2万吨,年产值突破45亿元。其中,三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯和三氟甲基磺酸4种产品产能将居世界第一。2018年5月18日,七一八所肥乡特气新材料产业基地一期项目正式投产。

七一八所有50多年从事气体相关产业的研发和生产经验,目前三氟化氮国内市场覆盖率达到95%以上,国际市场覆盖率达到30%;六氟化钨国内市场覆盖率达到100%,国际市场覆盖率达到40%。作为国家“02专项”气体项目的牵头单位,七一八所已经成功研制出四氟化硅、六氟乙烷、八氟丙烷、八氟环丁烷、氯化氢、氟化氢等9种高纯气体及10种混合气体并成功进行了产业化,相关产品得到了中芯国际等半导体龙头企业的测试认证。

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