(全球TMT2022年6月6日讯)俄罗斯工业和贸易部表示,俄罗斯在今年年底前将限制氖气等惰性气体的出口,以回应欧盟此前针对该国半导体出口方面的限制。氖气、氪气、氙气等惰性气体是芯片制造过程中不可或缺的原材料。据相关估计,俄惰性气体供应量占全球供应总量的30%。在俄乌冲突爆发后,全球氖气、氙气价格曾一度出现跳涨。
光刻气大部分为稀有气体及氟之间的混合气,在高压受激发后形成等离子体,在这个过程中,由于电子跃迁,会产生固定波长的光线。激发出来的光线经过聚合,滤波等过程就会产生光刻机的光源。在半导体制程当中,氖气可用于KrF、ArF 镭射曝光,在ArF准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中,氖气占激光气体混合物的96%以上。氪气同样用于光刻制程;氙气用于半导体刻蚀制程。
目前全球半导体供应仍处于紧张状态。此前在2022年世界经济论坛年会上英特尔CEO帕特.基辛格(Pat Gelsinger)表示,芯片短缺问题预料将持续到2024年。半导体短缺问题同时造成先进芯片制造设备也供不应求,可能阻碍全球晶片产能的扩张计划。分析认为,俄罗斯的惰性气体出口限制措施可能会加剧全球芯片市场的供应短缺问题。
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