氖气是一种惰性气体,在常温常压下很难进行化学反应,化学性质非常稳定,在半导体微影制程中的作用非常重要。
它可以用于镭射曝光,在ArF 准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中,氖气占到气体混合物成分的96%以上,相关工艺覆盖从8英寸晶圆180nm到12英寸晶圆1Xnm的制程节点,全球晶圆代工产能有75%位于这一制程区间。值得注意的是,时下极为紧缺的电源管理芯片、射频芯片、MCU、IGBT功率半导体等产品品类,恰好落在上述制程范围内。
随着俄乌战争的爆发,全球氖气供应受到了巨大的挑战。其中乌克兰供应了全球氖气的70%,阿斯麦有20%的氖气供应来自乌克兰。美国超九成氖气供应来自俄乌,日本只能生产自用的非常小的一部分,2021年韩国进口氖气110万立方米。全球氖气供应进入急剧紧张阶段。
氖气是钢铁冶炼过程中的副产品。我国是钢铁生产大国,其中氖气产量也非常可观,主要是提纯技术要求较高。目前国内已有企业的氖气提纯技术通过阿斯麦的技术认证,还有企业正在技术认证中。
中国有可能成为氖气生产的主要国家。目前我国芯片进口受到了美国的严格限制,氖气又是芯片生产中的重要资源。俄乌战争不可能长时间的持续,能利用的时间可能也就两三个月,我们应该抓住这难得的两三个月时间,利用我国氖气的巨大生产能力,争取为国内的芯片制造打开一道缺口。
所以氖气的生产必须受到国家的严密监管,出口必须由国家统一批准方可执行,不可以因为部分企业的唯利是图重蹈我国稀土出口的覆辙。
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