此外，该专利能够更好保障工作人员作业安全，生产过程节能环保，减少环境污染，有利于促进半导体行业高质量发展。
在此之前，华特气体“一种三氟甲烷纯化装置及纯化方法”专利还获得了第二十一届中国专利优秀奖。据介绍，该项专利可获得纯度99.999%的CHF3产品，满足半导体行业要求，采用该专利技术的高纯度三氟甲烷产品已经实现批量生产。
天眼查资料显示，华特气体成立于1999年，是一家专业从事气体及气体设备研产销的企业，目前已经成为国内最大的民营特种气体及相关设备供应商之一，产品出口到50余个国家和地区。
目前，华特股份在气体纯化领域上研发的“一种四氟化碳的纯化方法”、“一种八氟丙烷纯化方法”、“一种六氟乙烷的纯化方法”、“一种一氧化氮的纯化方法”、“一种氨气的纯化方法”等技术均已获得国家专利认证。
据华特气体相关负责人介绍，该公司非常重视知识产权工作，设立有知识产权办和专利战略委员会，制定知识产权战略规划，完善知识产权管理制度，把专利工作纳入生产经营各个环节中，全面提升企业知识产权创造、运用、管理、保护的能力。
截至2020年底，华特气体母公司拥有有效专利79件，包括发明专利16件、实用新型62件和外观设计1件。
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