美国使用半导体级氖气超90%来自乌克兰,中国相关技术已成熟

(全球TMT2022年2月23日讯)最近国际形势突变也不可避免地要影响半导体行业,因为有一种关键原料面临断供,这就是氖气。市调机构Techcet发表研究 告指出,许多半导体制造商高度依赖俄罗斯、乌克兰供应的原物料,例如氖、钯等等。该机构估计,美国使用的半导体级氖有超过90%来自乌克兰,钯则有35%来自俄罗斯。

光刻气大部分为稀有气体及氟之间的混合气,在高压受激发后形成等离子体,在这个过程中,由于电子跃迁,会产生固定波长的光线。激发出来的光线经过聚合,滤波等过程就会产生光刻机的光源。在半导体制程当中,氖气可用于KrF、ArF 镭射曝光,在ArF准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中,氖气占激光气体混合物的96%以上。氪气同样用于光刻制程;氙气用于半导体刻蚀制程。根据芯智讯,乌克兰供应的氖气约占全球70%,并且供应全球约40%氪气,和30%的氙气。

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