/ 美通社/ -- Picarro 宣布推出经我们完全优化的AMC监控系统——Picarro SAM（取样 Sample、分析 Analyze 和监测 Monitor）。该系统由 Picarro 在业界领先的基于CRDS的传感器组成，该传感器已集成到最新的采样系统中。SAM 单元可提供高通量采样，而不会影响传感器的性能。
Picarro AMC Monitoring System
新的 Picarro SAM 系统是从组件产品到系统解决方案的重大转变。一站式的设计、制造和测试系统的好处包括：
针对 Picarro 硬件和软件设计且完全集成的系统——无集成兼容性问题
Picarro SAM 系统进行过精心优化——系统性能符合 Picarro Semi 系统规格
新发明的、正在申请专利的气体输送歧管促成了 SAM 的显着性能优势，使其在很短的时间内达到万亿分之几（ppt）的检测灵敏度，并能快速将 SAM 系统恢复到基线灵敏度水平。这使得 SAM 成为在线实时 AMC 监视系统的理想选择。该系统带有易于使用的图形用户界面，可进行各种图表和趋势分析。
SAM 可以配置为从 8 个或 16 个端口采样，并且目前可用于检测氨、氟化氢和盐酸，这三个关键 AMC 会影响半导体晶圆的产量。展望未来，我们将根据 Picarro 的半导体产品路线图为其它气体提供 SAM 系统。
SAM 系统路线图还将支持复杂的 AMC 分析，以帮助客户更准确地快速识别 AMC 事件的位置，从而允许采取更快的纠正措施，以提高与 AMC 相关的晶圆产量。
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