气体质量流量控制器在动态配气仪中的使用情况

热式气体质量流量控制器广泛的在动态配气仪器和气体配比行业中使用。LF系列的高精度气体质量流量控制器在动态配气行业中能满足各种流量量程和浓度范围的配比,流量范围的跨度在国产同类型产品中位列前茅,各产品的精度等级也是优于其他国产产品。

LFIX系列动态配气仪主要是由气体质量流量控制器配合其他管件和阀门以及自动化编程器等一起组成,莱峰流体生产的高精度动态配气仪采用本公司的气体质量流量控制器和混合器,通过PID自主编程的软件操作程序完成。供电方式为220V,操作方式为触摸屏全自动,可以多路气体同时配比、选择其中几路配比或是选择里面单路当做气体质量流量控制器来使用都可以。

气体质量流量控制器广泛使用在扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。动态配气仪采用动态配比法来控制气体的进气量,气体配比精度高,全自动输出混合气体流量,随配随用气体,从而为用户节约原料气体,而且混合后的气体也容易携带和保存。LFIX系列的动态配气仪多用于高校和研究单位,用于传感器干扰测试时需要用到的混合气体配比。

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