涡轮分子泵的抽气原理

分子泵输送气体应满足二个必要条件:

1) .涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时,其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有0.06pm,即平均看一个气体分子只要在空间运动0.06um,就可能与第二个气体分子相碰。而在1.3Pa时,分子间平均自由程可达4.4mm。若平均自由程增加到大于容器壁间的距离时,气体分子与器壁的碰撞机会将大于气体分子之间的碰撞机会。在分子流范围内,气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时,气体分子就会较多地射向转子和定子叶片,为形成气体分子的定向运动打下基础。

2).分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。

3)分子泵的转速越高,对提高分子泵的抽速越有利。实践表明,对不同分子量的气体分子其速度越大,泵抽除越困难。

涡轮分子泵系统操作注意事项及常见故障排除:

(1)不能在前级泵工作时(前级管道接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。

(2)分子泵系统在停机充干燥气体前,一定要先将分子泵冷却水关闭,且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。

(3)选择抽气系统前级泵的大小时,应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。

(4)不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。

(5)分子泵入口应装设防护 ,以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。涡轮分子泵系统常见故障及排除

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