成果名称：微型集成式固体电解质环境监测气体传感器
交易信息：许可转让、合作开发
成果信息：
1. 应用领域：光机电一体化
2. 技术领域：综合领域
3. 技术成熟度：已有样品
成果简介
随着工业化进程的加速推进，人类社会各方面的发展对化石燃料的消耗与日俱增，而由此产生的大气环境污染问题也愈发严重，对人类的生存和健康、自然生态环境造成极大的损害。基于固体电解质的气体传感器，结合先进的 MEMS 和镀膜技术，对于 CO2、SO2等污染性气体浓度的实时监测、防治十分重要。
项目以 Li3PO4、Li3PO4-Li2SiO3薄膜固体电解质薄膜作为导电介质，研制 CO2、SO2等环境监测气体传感器。通过固体电解质薄膜的 CO2、SO2气体传感器的响应原理分析，设计了集成式环境监测气体传感器，选择了合适的反应电极材料，结合 MEMS 薄厚膜工艺，采用热阻蒸发镀膜工艺沉积 Li3PO4固体电解质薄膜，丝 印刷厚膜技术制备反应电极和加热电极，完成了集成式微型 CO2、SO2气体传感器的研制、封装、测试，为工业应用奠定了基础。微型气体传感器可实现CO2和SO2气体的高精度监测，并具有体积小、功耗低、成本低的特点。
可小批量生产微型气体传感器；已申请国家专利 7 项，其中授权 4 项。
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