气体圈子讯：默克公司宣布与美光科技合作开发用于半导体工艺、能降低全球变暖潜能值（GWP）的气体解决方案。经过一年的持续合作，美光科技目前正在测试默克研发部门提供的低GWP替代性蚀刻气体，以验证其制程性能，从而取代传统的高GWP材料，目标是在半导体制程中导入全新且更具可持续性的气体解决方案。两家公司皆致力于发掘有助实现永续发展目标的新颖材料，以取代现行应用于干蚀刻与光罩清洗制程的多种高暖化潜势的蚀刻气体。
气体圈子和部分半导体大厂长期保持良好的沟通协作和咨询服务，针对先进制程所需气体材料的“合作开发”需求，刻蚀类气体主要和材料供应商共同开发，沉积类材料主要和设备供应商合作较多（如半导体前驱体）。由气体圈子主办的2022第七届国际气体产业大会暨特种气体供应链大会定于8月30日-9月1日在成都举办，汇聚半导体制造、新型显示、化合物半导体和光伏等泛半导体领域头部企业共同参与，同期举办《高科技半导体公司特种气体供应链对接会》，以实现企业供应链稳定的永续目标。
默克集团执行董事暨电子科技事业体执行长Kai Beckmann 表示，永续发展仰赖整个产业的同心协力，而不是单一企业的孤军奋战，也无法限缩于单一公司的范畴之内，需要整个半导体产业链的携手合作。长久以来，默克与美光科技皆致力于发掘有助实现永续发展目标的新颖材料，以取代现行应用于干蚀刻与光罩清洗制程的多种高GWP的蚀刻气体。
气体圈子【Gas Ecosphere】致力打造具有国际影响力的气体科技智库，核心人员均有半导体大厂和国际气体公司多年从业经验。公司专业从事气体产业研究、顾问咨询、技术引进、电子特气人才培训及企业内训服务。持续为国家部委、地方政府和气体产业链企业提供专业化咨询顾问服务。
声明：本站部分 章内容系出于传递信息之目的源自于第三方 站转载，行业企业、终端用户投稿。若对稿件内容有任何疑问或质疑，请立即与本 站联系，本 站将迅速给予回应并第一时间做出处理（联系邮箱：jinwei@zod.com.cn）。