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为了增加气体的纯度，载气流路以及辅助气路通常需使用气体净化器去除其中的杂质，最常用的是除水、除氧、除烃净化器。图1中显示了气相色谱中常用的气体净化器的安装顺序。
图1 气体进化器的安装顺序
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一般情况下，水分净化器内装硅胶、5A或13X分子筛，净化后气体的含水量可控制在几十微克/升；烃类净化器通常使用活性炭或含碳过滤介质；氧气净化器通常采用活性金属催化剂等介质，大部分氧气净化器可以将气体中的氧含量降至几十微克/升。
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