日本将氖氪等气体列为重要物资，力推国产化

气体圈子援引外媒3月31日消息，日本经济产业省当天公布一份清单，列出了7种短期内难以被替代的、需从俄罗斯进口的商品和材料清单，包括半导体气体（氖、氪）、石油、液化天然气、煤炭和炼焦煤、钯以及用于生产钢和不锈钢的铁合金。

日本在液化天然气、半导体制造等领域对俄罗斯有很大“依赖度”。日媒称，鉴于目前局势，为确保能稳定获取上述7种商品，日本需加速推动与其它生产国家联系、和日本国内企业协商等对策。

因担心各国对俄罗斯实施经济制裁导致上述“重要物资”进口停摆、或是俄罗斯采取 复手段缩减供应，因此在日本首相岸田 雄的指示下，经产省设置了上述“战略物资/能源供应链对策本部”。制定稳定供应对策，除将要求其他生产国增产之外、也力推国产化，且还计划和美国等同盟国合作、建构稳定供应链的框架。

日本经济产业大臣萩生田光一说:“为了不与同盟国家争夺物资，加强国际稳定供应。希望能活用日本现有的回收技术。”对于半导体制造所用的氖气和氪气，日本将力推国产化，除对制造设备的投资提供援助之外、也将协助使用气体的半导体工厂导入回收设备，目标是在2025年之前完成国产化。

根据气体圈子发布的《全球电子级稀有气体市场研究》章节内容，日企光刻光源制造商Gigophonton从2015年开始研究氖气回收技术。气体从激光腔室中出来送至回收罐，当回收罐充满时，利用几个吸附柱对空气进行过滤，去除氮气、氧气和氩气杂质。然后它被送回激光腔室。该工艺的回收效率约为85-92%。整个过程在fab内部完成，不影响激光性能。

对于近期稀有气体暴涨的情况，气体圈子任路和某半导体大厂进行了深入交流。他们表示，虽然稀有气体是生产必备的原材料，如果价格问题、政治原因和供应稳定性都存在严重的不确定性。那么，从半导体生产的连续性出发，我们被迫不得不考虑工艺革新，或者寻找产品替代方案，或者选择回收再利用技术。根据《全球电子级稀有气体市场研究》内容显示，目前，日本稀有气体生产主要包括Air Water的鹿岛、和歌山和加古川项目；日本酸素的大山项目和液化空气的尼崎项目等。