电子气是半导体工业的重要原料
电子气体简介
特种电子气（简称特种电子气）是特种气体的一个重要分支，是生产集成电路（IC）、平板显示器（LCD、LED、OLED）、太阳能（8.360，-0.12，-1.42%）电池等电子工业不可或缺的原材料。
一般来说，半导体制造业中的气体分为普通气体和特种气体。其中，常用气体是指集中供气并使用多种气体的气体，如N2、H2、O2、AR、he等。特殊气体是指半导体制造中使用的一些化学气体，如膨胀、离子注入、混合、清洗、掩蔽，即气体类别中的电子气体，如高纯度SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl 3、BF3、HCl、Cl2等。这是用于集成电路生产，有大约30种常见类型的核心范围。正是这些气体使硅芯片通过各种工艺具有半导体特性，进而决定了集成电路的性能、集成度和成品率。即使某些污染物超过标准，也会导致严重的质量缺陷。在严重的情况下，不合格气体的扩散会污染整个生产线，甚至使生产完全瘫痪。因此，电子气体是电子制造过程中的关键基础材料，它确实是电子行业的“血液”。
电子气体的分类和应用
电子产品的制造过程中广泛使用了多种类型的电子气体。目前，电子气体有60多种纯气体和80多种混合气体。电子气体可分为纯气体、高纯度气体和半导体特种材料气体。特殊材料气体主要用于外延、掺杂、蚀刻等工艺；高纯度气体主要用作稀释气体和载气。
电子气体主要用于半导体、平板显示器、太阳能电池等领域，国内市场需求80亿元。据中国工业气体工业 统计，2019年国内电子专用气体需求达到80亿元，其中集成电路专用气体需求35亿元，飞机显示器专用气体需求22亿元，太阳能电池需求8亿元。
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