电子气体市场需求旺盛 国产化发展进一步提速

【中国化工仪器 本 视点】电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，被业内称为电子工业的“血液”和“粮食”。随着市场竞争的日益加剧，电子气体对我国半导体产业的发展起着至关重要的作用。

从政策层面来看，国家对电子气体的发展一直比较重视。《“十三五”先进制造技术领域科技创新专项规划》提到要重点研发超高纯电子气体；《增强制造业核心竞争力3年行动计划(2018～2020年)》提到了高纯氯气、氯化氢等系列电子气体。顶层设计倾斜电子气体行业，这为行业的发展孕育了极为有利的宏观环境。

从市场层面出发，近几年来，随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等新兴产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的本土化、国产化已是大势所趋。

据悉，全球电子特种气体主要生产商有美国气体化工、日本昭和电工等。随着我国电子工业对特种气体的不断需求，全球主要的跨国气体公司都纷纷在中国设生产基地，推动电子气体本土化发展。

据了解，在电子气体国产化方面我国也取得了十足的进展。此前，全国规模最大标准气体生产基地落户大连。大连大特气体科技特种气体生产基地作为我国规模最大的标准气体生产基地，该项目主要建设高纯气及超高纯气生产、标准气生产、电子混合气生产等生产装置或检测平台。其主要设备均选用国际一线品牌，部分核心设备为企业自行研发，在技术能力上具备行业领先水平。尤其在重点建设的VOC标准气体配制和电子混合气配制项目中，有多项产品具备填补国内空白能力。

国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，已成功打开国内市场。经过近10年发展，国内电子气体行业陆续涌现了一批生产质量稳定，能够被半导体客户接受的电子气体生产企业。目前，国内主要研发和生产企业有江苏南大光电材料、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究设计院、中等企业。

总而言之，中国电子气体产业仍属发展初期，产业规模较小，个别企业实力不足，行业市场需求迫切。另一方面，“中国制造2025”推进实施，恰逢新兴增长点的孕育崛起期，中国电子气体产业迎来前所未有的发展机遇。

目前，电子气体污染控制要求日趋严格，行业技术研发愈发精进，建设成本大力降低已成为行业发展的重点。对电子气体企业来说，抓住利好时机，通过自主创新，提高电子气体国产化率十分重要。从而为我国半导体发展做出新的更大贡献。