有机半导体气体传感器具有可控的气体选择性和本征柔性等优势，在智能传感、物联 系统中具有广泛的应用前景，但其应用仍面临着响应速度和探测灵敏度不足的问题。基于超薄有机半导体薄膜的气体传感器具有超高的比表面积，可以有效提高器件的气体探测灵敏度与响应速度，但是，传统工艺如热蒸镀、溶液旋涂法等难以制备高质量的超薄有机半导体薄膜。原子层沉积工艺基于自限制反应的化学机理，具有原子层级别的厚度精确可控性，被广泛应用于集成电路、原子催化和能源器件等领域，借鉴该方法来精确可控地制备聚合物薄膜的 “分子层沉积工艺”也见诸 道。然而，大部分有机半导体，包括聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺类等，其聚合过程都是基于官能团偶合反应，不具有自限制反应的特点。因此，面向有机半导体的分子层沉积工艺开发仍面临着挑战。
图1. 聚噻吩薄膜的分子层沉积工艺
图2. 基于分子层沉积工艺制备的超薄聚噻吩气体传感器性能
图3. 柔性超薄聚噻吩气体传感器的性能
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