郭琼：关于国内电子特气未来之路的思考

昊华气体有限公司首席战略官郭琼女士在11月5日举办的特气年会上做主旨 告《关于国内电子特气未来之路的思考》。气体圈子参考相关内容作简要回顾。

对于电子特气未来之路，郭琼女士主要从电子特气新品类、产品品质需求、整体供应管控、科技投入与研发思路等方面进行分析。充装设备引领特气需求趋势，通过对普莱克斯Up Time和Entergris公司SDS技术的举例，对包括GeF4、SiF4、AsH3、PH3、BF3等具有毒腐性质的气体进行研发模式案例说明。研发模式应该注重传统工艺／设备的优化提升。针对不同用途，提供贴合客户需求的用气体解决方案，多样性的供气方案、应用还原型的实验数据采集、主动参与设备的优化提升。电子特气产品品质需更注重细节，量产和规模化的同时，保证产品品质的稳定性和一致性。结合系统化和智能化打造完整电子特气供应生态，确保整体供应管控。增加探索性、前瞻性研发的投入，通过普莱克斯ESG R&D的plasma腔室用于研发离子注入混配气的案例向在场嘉宾举例说明。针对不同用途，提供贴合客户需求的用气解决方案，通过电子特气的种类和品质上供应地位逐步转为引导地位。提升前瞻性科技投入、扩展研发思路至特气配套产业。

电子特气企业应加强合成、纯化、分析检验、包装容器、质量控制与安全环保等方面的投入。协力配合国内电子产业高速发展。让电子特气不再“卡脖子”，我们应该注重基础学科研发储备，结合工程实践，用长期的技术积累为未来技术变革产生的新需求做好充分准备；勿以可见市场规模作为评判产品重要性的唯一标准，用动态的眼光进行产品战略布局；在特气产品纯度与稳定性的基础上，加强配套设备自强、提供高效的服务、优化运营管控、加深客户粘度；通过合资并购引入国外新近技术是以消化转化为目的，并对研发技术人才加大培育和引进，形成良性长期发展。