#华夏之光##集成电路#
电子特种气体是集成电路制造过程中用量仅次于硅片的材料，占比达到了14%左右。有硅片掺杂、外延用气、离子注入用气、LED 用气、蚀刻用气、化学气相沉淀用气、载运、稀释、隔离气体等几大类，应用的有110多种电子气体，常用的有20-30种，广泛用于集成电路制造过程中的光刻、掩膜、蚀刻、清洗、研磨、掺杂、绝缘保护等，几乎整个过程都需要用各种电子特种气体。
电子特种气体同其他材料一样，毫无悬念的也被美日欧厂商领先，美国的空气化工和普莱克斯、德国林德集团、法国液化空气和日本太阳日酸株式会社，是世界五大气体公司，其全球市场份额占比超过90%，在我国市场的份额也在80%以上。电子特种气体涉及基础化工，属于投入大见效慢的产业，在我国经济发展早期阶段，不是重点投入对象，因此国产发展较慢，国产产品也主要集中在中低端。近年来国内市场的巨大需求以及国产替代战略的提出，国产厂商也开始向高端迈进，在多个品类攻克了难关，突破了国外垄断。国产电子特种气体代表性厂商中的上市公司有华特气体（688268）、雅克科技（002409）、南大光电（300346）、金宏气体（688106）等。
华特气体拥有10多个产品系列，覆盖了国内80%的8吋以上生产线的客户，其产品六氟乙烷、纯三氟化氮、高纯一氟、甲烷、高纯二氟甲烷、锗烷气体等，已经占有了60%以上的国内市场份额，多种产品已经可以应用在14纳米以及7纳米制程工艺上，实现进口替代。客户包括中芯国际、华虹、长江存储等国内知名企业以及英特尔、美光、德州仪器、SK 海力士等全球知名半导体企业。
金宏气体的超纯氨和高纯氧化亚氮是制造氮化镓GaN的重要材料。在中芯国际被美国列入“实体清单”后被海外原料厂商断供，金宏气体很快填补了短缺，不止解决了中芯国际的断供危机，同时也打入了三星、SK海力士、矽品科技等的供应链。
雅克科技是综合性的半导体材料供应商，通过收购科美特进入电子特种气体行业，2020年电子特种气体营收占比在16%，对用于绝缘保护、清洗和蚀刻的六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮的制备和提纯上国内领先，客户包括台积电、英特尔、德州仪器。
南大光电通过并购飞源气体布局了国内电子特种气体市场，飞源气体主营三氟化氮与六氟化硫等含氟类电子特种气体，其产品相比国内外同业有成本优势并获得了包括台积电、中芯国际、京东方、鸿海集团等重点客户的认证。此外，南大光电在磷烷、砷烷这两种制备和纯化难度较大的气体上完成了技术攻关，突破国外的封锁，实现了国产替代，国内市场占比达到了70%以上，客户包括英特尔、欧司朗、飞利浦等知名企业。
除上述几家外，另外值得关注的国内厂商还有中船重工、黎明化工、昊华科技（600378）、绿菱气体、派瑞特气等。虽然在电子特种气体上国产厂商取得了一定突破，实现了部分品类的国产替代，但也要承认与国外寡头相比差距还比较大，国内厂商还需要再接再厉。
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