试想过你的生活缺少了数字是什么概念么?那绝对是一个非常混乱的世界!数字生活已改变了我们生活的方方面面,清晨,MP3音箱播放出悦耳的晨曲,催我们按时起床;上班途中,打开随身携带的笔记本电脑,进行新一天的工作安排;上班以后,通过互联 召开 络会议、开展远程教学和实时办公;在下班之前,我们远程启动家里的空调和湿度调节器,保证家中室温适宜;下班途中,打开手机,悠然自在观看精彩的影视节目;进家门前,我们接收 上订购的货物;回到家中,和有线电视台进行互动,观看和下载喜欢的影视节目和歌曲,制作多媒体,也可进入社区互联 ,上 浏览新闻了解天气……在此背后,隐藏着半导体的巨大功勋!而特种气体绝对是成就这一切的“幕后英雄”!
1、市场需求
目前,全球每年对高纯电子气体的需求极速递增,2009年全球半导体用高纯度特种气体市场规模已达20亿美元。美国Air Product、Praxair、德国Linder、法国Air Liquid、日本昭和等几大气体公司在全球市场占有垄断地位,年产能高达数千吨。
近年来随着光电子、微电子技术的发展,特别是氮化镓技术的突破,对特种气体的需求和技术要求愈来愈高。越来越多的生产厂家和用户开始关注原材料的质量及其对生产、销售和企业经济效益带来的影响。
在全球经济一体化的今天,经济飞速发展的中国吸引了全世界的目光。世界几大气体供应商巨头,都瞄准了中国巨大的特种气体市场。如美国AirProduct、Praxair,日本昭和均在中国建立子公司,销售其产品;或者如美国Airgas、MethesonTrigas与国内气体公司联合,实行产品总代理;或者如德国Linde在中国建分装厂;或者如法国AirLiquid以OEM方式,销售国内厂家优质电子气产品,目的就是要在中国电子气市场占有一定份额,取得巨大经济利益。
2、发展趋势
特种气体的发展趋势伴随着光电子、微电子产业的发展不断更新、进步。主要表现为产品品种的不断增加,新型半导体材料的出现,为我们带来的是新一代支撑材料的需求,特种气体生产厂家紧紧围绕下游芯片厂的需求,不断推出符合半导体工艺的新品种。
特种气体质量不断提高,以LED产业用量最大的氨气为例,高纯氨产品的纯度由最初的技术指标要求电子级(5N)到兆位一级(5.5N)、兆位二级(5.7N)发展到市场广泛应用在氮化镓生产中的蓝氨(6.4N),目前氮化镓技术需求的高纯氨技术指标纯度超过99.99999%,业界已经认可的白氨已经完全商品化。
由于产品中杂质的含量在特种气体纯度中都有严格限制,但绝大多数特殊气体因化学活性大,所以不容易保持其纯度,因此气体的纯度、供气系统的保证便成为品质和经济性的关键。为避免化合物半导体生产过程中频繁更换过程气体瓶,保证尽可能少引入杂质,气体的充装容器规格趋向大体积,产品包装的集装化,保证特种气体的供应质量稳定。
3、特种气体应用于半导体产业
半导体工业用气品种多、质量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蚀性气体,品种高达百余种。半导体工业特种气体按照应用分类,主要包括:
(1)、硅族气体:含硅基的硅烷类,如硅烷(SiH4)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、乙硅烷(Si2H6)等。
(2)、掺杂气体:含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体,如三氯化硼(BCl3)、三氟化硼(BF3)、磷烷(PH3)、砷烷(AsH3)等。
(3)、蚀刻清洗气体:以含卤素的卤化物及卤碳化合物为主,如氯气(Cl2)、三氟化氮(NF3)、溴化氢(HBr)、四氟化碳(CF4)、六氟乙烷(C2F6)等。
(4)、反应气体:以碳系及氮系氧化物为主,如二氧化碳(CO2)、氨(NH3)、氧化亚氮(N2O)等。
(5)、金属气相沉积气体:含卤化金属及有机烷类金属,如六氟化钨(WF6)、三甲基镓(Ga(CH3)3)等。
在半导体化合物生长过程中,除了纯特种气体之外,还需要部分混合气体,主要包括SiH4/H2。SiH4/N2作为成膜源用量尽管不大,但是对产品质量要求极高。
4、我国特气企业的优势
纯化技术和检测技术已经达到目前国际先进水平
产品价格具有明显的优势,国内高纯气体产品平均价格只有国际市场价格的60%。
完全符合我国各企业的使用和售后服务要求。
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