特气是什么？很多对气体应用行业不了解的朋友，可能会一脸懵逼！特气？天然气？特气管道系统？煤气管道吗？哈哈哈，之所以会造成这样的误解，主要是“特气”这种生物啊，有一定的危险性，有剧毒啊、会自燃的啊和容易爆炸，需要严格把控，而且它对出生环境要求很苛刻，所以一般出没在实验室或者工厂车间中。
言归正传，我们来回答一下标题和开头那个问题，天然气是特气吗？回答，不是，天然气不是特气。特气，又称电子特气，是特种的气体，用于半导体的高纯度气体就是一种生产半导体、液晶、太阳能电池等各种电子产品时使用的特殊的高纯度气体。还有用于制作半导体配线的气体材料、用于蚀刻（进行半导体细微加工工程）、用于生产设备清洁工艺的气体。
特气管道
在这，我就简单介绍几种常见的特气和它的用途：
- 氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、在线仪表标准气、校正气、零点气、平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻、退火、搭接、烧结等工序；电器、食品包装、化学等工业也要用氮气。
- 氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、校正气、零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、扩散、化学气相淀积、等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的制备。
- 氩气-Ar,>99.999,用作标准气、零点气、平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、热氧化、外延、扩散、氮化、喷射、等离子干刻、载流、退火、搭接、烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氩气。
- 氦气-He,>99.999%,用作标准气、零点气、平衡气、校正气、医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、等离子干刻、载流等工序；另外,特种混合气与工业混合气也常用。
- 氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、校正气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、等离子干刻、热氧化等工序；另外,用于水净化、纸浆与纺织品的漂白、工业废品、污水、游泳池的卫生处理；制备许多化学产品。
- 氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、校正气、在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,用于制冷、化肥、石油、采矿、橡胶等工业。
- 硅烷-SiH4,>99.999%,电阻率>100Ω/cm2,用于半导体器件制备工艺中外延、化学气相淀积等工序。
- 氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、医月麻醉剂、烟雾喷射剂、真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。
特气有很多种，我所知道的就有260种，广泛应用于半导体、光电、光伏和太阳能电池等行业。
特气系统
特气管道呢，通俗的讲就是将特气从气体钢瓶中输送到使用设备的接口处的所使用的连接管道，一般是不锈钢管道，了解的朋友可能知道不锈钢洁净管也是分级，从AP到EP，纯洁度递增，AP<MP<BA<EP。不了解的朋友也不用担心，你现在了解了哦。
不锈钢洁净管道等级
不锈钢洁净管道的洁净度在高纯度特气系统是重要的一点，直接影响所生产的产品质量，在半导体,集成电路,生物制药行业输送超纯介质(气体)的高纯气体管路是一种需要综合考虑组织安定性,耐蚀性,加工性的最优化不锈钢管。
不锈钢管道的重要性就不在这里细说了，综上，特气又称电子特气，是特种的气体，大概有260多种，广泛应用于半导体、电子行业。特气就简单介绍到这了，有兴趣的朋友，可以关注我，下期为您详细介绍一下，蕴藏在不锈钢管的细节成败。
声明：本站部分 章内容系出于传递信息之目的源自于第三方 站转载，行业企业、终端用户投稿。若对稿件内容有任何疑问或质疑，请立即与本 站联系，本 站将迅速给予回应并第一时间做出处理（联系邮箱：jinwei@zod.com.cn）。